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擴(kuò)散爐TK180

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詳細(xì)介紹

【商品名稱】：擴(kuò)散爐TK180
【生產(chǎn)廠家】：同志科技【商品規(guī)格】：TK180
【商品簡(jiǎn)介】：擴(kuò)散爐專門設(shè)計(jì)用于半導(dǎo)體材料擴(kuò)散、氧化工藝；同時(shí)也用于太陽能電池行業(yè)的氮化硅、磷硅玻璃、硼磷硅玻璃、多晶硅等多種渡膜（LPCVD）工藝。窯爐采用FEC陶瓷纖維管保溫、KANTHEL爐絲，氣煉石英管作為爐膛, 可預(yù)抽真空并可通入?yún)⑴c反應(yīng)沉積的氣體。　　溫度控制系統(tǒng)選用日本進(jìn)口單回路智能溫度控制儀控制、溫區(qū)設(shè)計(jì)隔板結(jié)構(gòu)，恒溫區(qū)溫度均勻。進(jìn)口或國產(chǎn)氣氛控制系統(tǒng)，質(zhì)量流量計(jì)控制。設(shè)備具有溫度均勻、控制穩(wěn)定、溫區(qū)間溫度擾動(dòng)小、升溫速度快、節(jié)能、使用溫度高、壽命長等特點(diǎn)，是理想企業(yè)的研制、生產(chǎn)設(shè)備。

【備　　注】：
主要技術(shù)參數(shù)見下表：

注：用戶有何特殊要求可協(xié)商。
注意：如果產(chǎn)品升級(jí)恕不另行通知，網(wǎng)站及資料會(huì)同步升級(jí)，并以實(shí)物為準(zhǔn)！

本頁關(guān)鍵詞：擴(kuò)散爐,擴(kuò)散,半導(dǎo)體材料擴(kuò)散爐,擴(kuò)散工藝,氧化工藝,渡膜工藝

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